Ang teknolohiyang mataas na kadalisayan ng gas piping ay isang mahalagang bahagi ng sistema ng supply ng gas ng mataas na kadalisayan, na kung saan ay ang pangunahing teknolohiya upang maihatid ang kinakailangang gas na may mataas na kadalisayan sa punto ng paggamit at mapanatili pa rin ang kwalipikadong kalidad; Ang teknolohiyang mataas na kadalisayan na teknolohiya ng piping ay may kasamang tamang disenyo ng system, ang pagpili ng mga fittings at accessories, konstruksyon at pag-install, at pagsubok. Sa mga nagdaang taon, ang lalong mahigpit na mga kinakailangan sa kadalisayan at karumihan na nilalaman ng mga gas na may mataas na kadalisayan sa paggawa ng mga produktong microelectronics na kinakatawan ng mga malalaking integrated circuit ay gumawa ng teknolohiya ng piping ng mga gas na may mataas na kadalisayan na lalong nababahala at binibigyang diin. Ang sumusunod ay isang maikling pangkalahatang-ideya ng mataas na kadalisayan na gas piping mula sa pagpili ng materyalof konstruksyon, pati na rin ang pagtanggap at pang -araw -araw na pamamahala.
Mga uri ng karaniwang mga gas
Pag -uuri ng mga karaniwang gas sa industriya ng electronics：
Karaniwang mga gas（Bulk gas）: hydrogen (h2), nitrogen (n2), oxygen (o2), argon (a2), atbp.
Mga specialty gasSi Sih4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCl,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2Cl2 SIHCl3,NH3, Bcl3 ,Sif4 ,CLF3 ,Co,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… atbp.
Ang mga uri ng mga espesyal na gas ay maaaring sa pangkalahatan ay maiuri bilang kinakaingas, nakakalasongas, nasusunoggas, masunuringas, Inertgas, atbp. Ang karaniwang ginagamit na mga gas ng semiconductor ay karaniwang inuri tulad ng mga sumusunod.
(i) Corrosive / Toxicgas: Hcl, bf3, Wf6, HBR, SIH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, Bcl3... atbp.
(ii) Flammabilitygas: H2, Ch4, Sih4, PH3, Ash3, Sih2Cl2, B2H6, CH2F2,Ch3F, CO ... atbp.
(iii) pagkasunoggas: O2, Cl2, N2O, nf3... atbp.
(iv) Inertgas: N2, Cf4, C2F6, C4F8,SF6, Co2, Ne, kr, siya ... atbp.
Maraming mga gas ng semiconductor ang nakakapinsala sa katawan ng tao. Sa partikular, ang ilan sa mga gas na ito, tulad ng SIH4 Ang kusang pagkasunog, hangga't ang isang pagtagas ay marahas na gumanti sa oxygen sa hangin at magsimulang magsunog; at Ash3Lubhang nakakalason, ang anumang bahagyang pagtagas ay maaaring maging sanhi ng panganib ng buhay ng tao, ito ay dahil sa mga malinaw na panganib na ito, kaya ang mga kinakailangan para sa kaligtasan ng disenyo ng system ay partikular na mataas.
APPLICATION SCOPE NG GASES
Bilang isang mahalagang pangunahing hilaw na materyal ng modernong industriya, ang mga produktong gas ay malawakang ginagamit, at isang malaking bilang ng mga karaniwang gas o mga espesyal na gas ay ginagamit sa metalurhiya, bakal, petrolyo, industriya ng kemikal, makinarya, elektronika, baso, keramika, mga materyales sa gusali, konstruksyon, pagproseso ng pagkain, gamot at medikal na sektor. Ang application ng gas ay may mahalagang epekto sa mataas na teknolohiya ng mga patlang na ito partikular, at ito ay kailangang -kailangan na hilaw na materyal na gas o proseso ng gas. Sa mga pangangailangan at pagsulong ng iba't ibang mga bagong sektor ng industriya at modernong agham at teknolohiya, ang mga produktong industriya ng gas ay maaaring mabuo ng mga leaps at hangganan sa mga tuntunin ng iba't -ibang, kalidad at dami.
Application ng Gas sa Microelectronics at Semiconductor Industry
Ang paggamit ng gas ay palaging may mahalagang papel sa proseso ng semiconductor, lalo na ang proseso ng semiconductor ay malawakang ginagamit sa iba't ibang mga industriya, mula sa tradisyunal na ULSI, TFT-LCD hanggang sa kasalukuyang industriya ng micro-electro-mechanical (MEMS), na ang lahat ay gumagamit ng tinatawag na semiconductor na proseso bilang proseso ng paggawa ng mga produkto. Ang kadalisayan ng gas ay may isang tiyak na epekto sa pagganap ng mga sangkap at ani ng produkto, at ang kaligtasan ng suplay ng gas ay nauugnay sa kalusugan ng mga tauhan at kaligtasan ng mga operasyon ng halaman.
Ang kahalagahan ng mataas na kadalisayan na piping sa transportasyon ng gas ng mataas na kadalisayan
Sa proseso ng hindi kinakalawang na asero na natutunaw at paggawa ng materyal, humigit -kumulang 200g ng gas ang maaaring makuha bawat tonelada. Matapos ang pagproseso ng hindi kinakalawang na asero, hindi lamang ang malagkit na ibabaw nito na may iba't ibang mga kontaminado, kundi pati na rin sa metal na sala -sala ay sumisipsip din ng isang tiyak na halaga ng gas. Kapag may daloy ng hangin sa pamamagitan ng pipeline, ang metal ay sumisipsip ng bahaging ito ng gas ay muling ipasok ang daloy ng hangin, na pinaparumi ang purong gas. Kapag ang daloy ng hangin sa tubo ay walang tigil na daloy, ang mga tubo ay nag -adsorbs ng gas sa ilalim ng presyon, at kapag ang daloy ng hangin ay tumitigil sa paglipas, ang gas na na -adsorbed ng tubo ay bumubuo ng isang pagbagsak ng presyon upang malutas, at ang nalutas na gas ay pumapasok din sa dalisay na gas sa tubo bilang mga impurities. Kasabay nito, ang adsorption at resolusyon ay paulit -ulit, upang ang metal sa panloob na ibabaw ng tubo ay gumagawa din ng isang tiyak na halaga ng pulbos, at ang mga particle ng alikabok na metal na ito ay dumudulas din sa purong gas sa loob ng tubo. Ang katangian na ito ng tubo ay mahalaga upang matiyak ang kadalisayan ng transported gas, na nangangailangan ng hindi lamang isang napakataas na kinis ng panloob na ibabaw ng tubo, kundi pati na rin isang mataas na paglaban sa pagsusuot.
Kapag ginagamit ang gas na may malakas na pagganap ng kinakain, dapat gamitin ang mga tubo na hindi kinakalawang na asero na hindi dapat gamitin para sa piping. Kung hindi man, ang pipe ay gagawa ng mga kaagnasan na lugar sa panloob na ibabaw dahil sa kaagnasan, at sa mga malubhang kaso, magkakaroon ng isang malaking lugar ng metal na pagtanggal o kahit na pagbubutas, na mahawahan ang purong gas na maipamahagi.
Ang koneksyon ng mataas na kadalisayan at mataas na pagka-clean ng paghahatid ng gas at pamamahagi ng mga pipeline ng malalaking rate ng daloy.
Sa prinsipyo, ang lahat ng mga ito ay welded, at ang mga tubo na ginamit ay kinakailangan na walang pagbabago sa samahan kapag inilalapat ang hinang. Ang mga materyales na may masyadong mataas na nilalaman ng carbon ay napapailalim sa permeability ng hangin ng mga welded na bahagi kapag hinang, na ginagawang kapwa ang pagtagos ng mga gas sa loob at labas ng pipe at sinisira ang kadalisayan, pagkatuyo at kalinisan ng ipinadala na gas, na nagreresulta sa pagkawala ng lahat ng aming mga pagsisikap.
Sa buod, para sa mataas na kadalisayan na gas at espesyal na pipeline ng paghahatid ng gas, kinakailangan na gumamit ng isang espesyal na paggamot ng mataas na kadalisayan na hindi kinakalawang na asero na pipe, upang makagawa ng high-kadalisayan na pipeline system (kabilang ang mga tubo, fittings, valves, VMB, VMP) sa pamamahagi ng mataas na kadalisayan na sumasakop sa isang mahalagang misyon.
Pangkalahatang Konsepto ng Malinis na Teknolohiya para sa Mga Pipeline ng Paghahatid at Pamamahagi
Ang mataas na dalisay at malinis na paghahatid ng katawan ng gas na may piping ay nangangahulugan na may ilang mga kinakailangan o kontrol para sa tatlong aspeto ng gas na maipadala.
Kalinisan ng gas: Ang nilalaman ng kapaligiran ng karumihan sa kadalisayan ng GGAS: ang nilalaman ng kapaligiran ng karumihan sa gas, na karaniwang ipinahayag bilang isang porsyento ng kadalisayan ng gas, tulad ng 99.9999%, na ipinahayag din bilang dami ng ratio ng nilalaman ng kapaligiran na PPM, PPB, ppt.
Pagkatuyo: Ang dami ng bakas na kahalumigmigan sa gas, o ang halaga na tinatawag na basa, na karaniwang ipinahayag sa mga tuntunin ng dew point, tulad ng atmospheric pressure dew point -70. .
Kalinisan: Ang bilang ng mga kontaminadong mga particle na nakapaloob sa gas, laki ng butil ng µm, kung gaano karaming mga particle/m3 na ipahayag, para sa naka -compress na hangin, karaniwang ipinahayag din sa mga tuntunin ng kung gaano karaming mga Mg/m3 ng hindi maiiwasang solidong nalalabi, na sumasaklaw sa nilalaman ng langis.
Pag-uuri ng laki ng pollutant: Ang mga particle ng pollutant, higit sa lahat ay tumutukoy sa pag-aagaw ng pipeline, pagsusuot, kaagnasan na nabuo ng mga partikulo ng metal, mga particle ng soot ng atmospera, pati na rin ang mga microorganism, phages at kahalumigmigan na naglalaman ng gas condensation droplets, atbp.
a) Malaking mga particle - laki ng butil sa itaas ng 5μm
b) Particle-diameter ng materyal sa pagitan ng 0.1μm-5μm
C) Mga particle ng ultra-micro-laki ng butil na mas mababa sa 0.1μm.
Upang mapahusay ang aplikasyon ng teknolohiyang ito, upang ma -perceptual na pag -unawa sa laki ng butil at mga yunit ng μm, isang hanay ng mga tiyak na katayuan ng butil ay ibinibigay para sa sanggunian
Ang sumusunod ay isang paghahambing ng mga tukoy na particle
| Pangalan /laki ng butil (µm) | Pangalan /laki ng butil (µm) | Laki ng pangalan/ butil (µm) |
| Virus 0.003-0.0 | Aerosol 0.03-1 | Aerosolized microdroplet 1-12 |
| Nuclear Fuel 0.01-0.1 | Kulayan ang 0.1-6 | Lumipad Ash 1-200 |
| Carbon Black 0.01-0.3 | Milk Powder 0.1-10 | Pesticide 5-10 |
| Resin 0.01-1 | Bakterya 0.3-30 | Semento alikabok 5-100 |
| Usok ng sigarilyo 0.01-1 | Sand dust 0.5-5 | Pollen 10-15 |
| Silicone 0.02-0.1 | Pesticide 0.5-10 | Buhok ng tao 50-120 |
| Crystallized salt 0.03-0.5 | Konsentrado na alikabok ng asupre 1-11 | Sea Sand 100-1200 |
Oras ng Mag-post: Hunyo-14-2022