Ang high-purity gas piping technology ay isang mahalagang bahagi ng high-purity gas supply system, na siyang pangunahing teknolohiya upang maihatid ang kinakailangang high-purity na gas sa punto ng paggamit at mapanatili pa rin ang kuwalipikadong kalidad;Ang high-purity gas piping technology ay kinabibilangan ng tamang disenyo ng system, ang pagpili ng mga fitting at accessories, construction at installation, at testing.Sa mga nagdaang taon, ang lalong mahigpit na mga kinakailangan sa kadalisayan at karumihang nilalaman ng mga high-purity na gas sa paggawa ng mga produktong microelectronics na kinakatawan ng malakihang integrated circuit ay naging dahilan upang ang piping technology ng mga high-purity na gas ay lalong nababahala at binigyang-diin.Ang sumusunod ay isang maikling pangkalahatang-ideya ng high-purity gas piping mula sa pagpili ng materyalof konstruksiyon, pati na rin ang pagtanggap at pang-araw-araw na pamamahala.
Mga uri ng karaniwang gas
Pag-uuri ng mga karaniwang gas sa industriya ng electronics：
Mga karaniwang gas（Bultuhang gas）: hydrogen (H2), nitrogen (N2), oxygen (O2), argon (A2), atbp.
Mga espesyal na gasay SiH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… atbp.
Ang mga uri ng mga espesyal na gas ay karaniwang mauuri bilang kinakaing unti-untigas, nakakalasongas, nasusunoggas, nasusunoggas, hindi gumagalawgas, atbp. Ang karaniwang ginagamit na mga gas na semiconductor ay karaniwang inuri bilang mga sumusunod.
(i) kinakaing unti-unti / nakakalasongas: HCl , BF3, WF6, HBr , SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCl3…atbp.
(ii) Pagkasunoggas: H2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2,CH3F, CO...atbp.
(iii) pagkasunoggas: O2, Cl2, N2O, NF3… atbp.
(iv) Inertgas: N2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, CO2, Ne, Kr, He...atbp.
Maraming mga semiconductor gas ang nakakapinsala sa katawan ng tao.Sa partikular, ang ilan sa mga gas na ito, tulad ng SiH4 kusang pagkasunog, hangga't ang pagtagas ay marahas na tumutugon sa oxygen sa hangin at magsisimulang masunog;at AsH3lubhang nakakalason, ang anumang bahagyang pagtagas ay maaaring magdulot ng panganib sa buhay ng tao, ito ay dahil sa mga halatang panganib na ito, kaya ang mga kinakailangan para sa kaligtasan ng disenyo ng system ay partikular na mataas.
Saklaw ng aplikasyon ng mga gas
Bilang isang mahalagang pangunahing hilaw na materyal ng modernong industriya, ang mga produktong gas ay malawakang ginagamit, at ang isang malaking bilang ng mga karaniwang gas o mga espesyal na gas ay ginagamit sa metalurhiya, bakal, petrolyo, industriya ng kemikal, makinarya, electronics, salamin, keramika, materyales sa gusali, konstruksiyon. , pagproseso ng pagkain, medisina at medikal na sektor.Ang paggamit ng gas ay may mahalagang epekto sa mataas na teknolohiya ng mga larangang ito sa partikular, at ang kailangang-kailangan nitong hilaw na materyal na gas o proseso ng gas.Sa pamamagitan lamang ng mga pangangailangan at pagsulong ng iba't ibang mga bagong sektor ng industriya at modernong agham at teknolohiya, ang mga produkto ng industriya ng gas ay maaaring mabuo nang mabilis sa mga tuntunin ng pagkakaiba-iba, kalidad at dami.
Aplikasyon ng gas sa industriya ng microelectronics at semiconductor
Ang paggamit ng gas ay palaging may mahalagang papel sa proseso ng semiconductor, lalo na ang proseso ng semiconductor ay malawakang ginagamit sa iba't ibang industriya, mula sa tradisyonal na ULSI, TFT-LCD hanggang sa kasalukuyang industriya ng micro-electro-mechanical (MEMS), lahat ng na gumagamit ng tinatawag na semiconductor process bilang proseso ng pagmamanupaktura ng mga produkto.Ang kadalisayan ng gas ay may mapagpasyang epekto sa pagganap ng mga bahagi at mga ani ng produkto, at ang kaligtasan ng suplay ng gas ay nauugnay sa kalusugan ng mga tauhan at ang kaligtasan ng mga operasyon ng halaman.
Ang kahalagahan ng high-purity piping sa high-purity gas transport
Sa proseso ng hindi kinakalawang na asero na pagtunaw at paggawa ng materyal, humigit-kumulang 200g ng gas ang maaaring masipsip bawat tonelada.Pagkatapos ng pagproseso ng hindi kinakalawang na asero, hindi lamang ang ibabaw nito ay malagkit na may iba't ibang mga contaminants, kundi pati na rin sa metal na sala-sala nito ay sumisipsip din ng isang tiyak na halaga ng gas.Kapag may airflow sa pamamagitan ng pipeline, ang metal ay sumisipsip sa bahaging ito ng gas ay muling papasok sa airflow, na nagpapadumi sa purong gas.Kapag ang daloy ng hangin sa tubo ay hindi tuloy-tuloy na daloy, ang tubo ay nag-adsorb ng gas sa ilalim ng presyon, at kapag ang daloy ng hangin ay huminto sa pagdaan, ang gas na na-adsorb ng tubo ay bumubuo ng isang pagbaba ng presyon upang malutas, at ang nalutas na gas ay pumapasok din sa purong gas sa tubo bilang mga impurities.Kasabay nito, ang adsorption at resolution ay paulit-ulit, upang ang metal sa panloob na ibabaw ng tubo ay gumagawa din ng isang tiyak na halaga ng pulbos, at ang mga metal na dust particle na ito ay nagpaparumi din sa purong gas sa loob ng tubo.Ang katangiang ito ng tubo ay mahalaga upang matiyak ang kadalisayan ng dinadalang gas, na nangangailangan hindi lamang ng napakataas na kinis ng panloob na ibabaw ng tubo, kundi pati na rin ng mataas na paglaban sa pagsusuot.
Kapag ginamit ang gas na may malakas na corrosive performance, dapat gamitin ang corrosion-resistant stainless steel pipe para sa piping.Kung hindi, ang tubo ay magbubunga ng mga corrosion spot sa panloob na ibabaw dahil sa kaagnasan, at sa mga seryosong kaso, magkakaroon ng malaking bahagi ng metal stripping o kahit na pagbubutas, na makakahawa sa purong gas na ipapamahagi.
Ang koneksyon ng high-purity at high-cleanliness gas transmission at distribution pipelines ng malalaking flow rate.
Sa prinsipyo, lahat ng mga ito ay hinangin, at ang mga tubo na ginamit ay kinakailangang walang pagbabago sa organisasyon kapag inilapat ang hinang.Ang mga materyales na may masyadong mataas na nilalaman ng carbon ay napapailalim sa air permeability ng mga welded parts kapag hinang, na gumagawa ng mutual penetration ng mga gas sa loob at labas ng pipe at sinisira ang kadalisayan, pagkatuyo at kalinisan ng ipinadala na gas, na nagreresulta sa pagkawala ng lahat ng ating pagsisikap.
Sa buod, para sa high-purity na gas at espesyal na gas transmission pipeline, kinakailangan na gumamit ng isang espesyal na paggamot ng high-purity stainless steel pipe, upang gumawa ng high-purity pipeline system (kabilang ang mga pipe, fitting, valve, VMB, VMP) sa Ang pamamahagi ng mataas na kadalisayan ng gas ay sumasakop sa isang mahalagang misyon.
Pangkalahatang konsepto ng malinis na teknolohiya para sa transmission at distribution pipelines
Ang mataas na dalisay at malinis na paghahatid ng katawan ng gas na may piping ay nangangahulugan na may ilang mga kinakailangan o kontrol para sa tatlong aspeto ng gas na dadalhin.
Kadalisayan ng gas: Ang nilalaman ng karumihang kapaligiran sa kadalisayan ng gGas: Ang nilalaman ng karumihang kapaligiran sa gas, kadalasang ipinapahayag bilang isang porsyento ng kadalisayan ng gas, tulad ng 99.9999%, na ipinahayag din bilang ratio ng dami ng nilalaman ng karumihang kapaligiran ppm, ppb, ppt.
Dryness: ang dami ng trace moisture sa gas, o ang halagang tinatawag na wetness, kadalasang ipinahayag sa mga tuntunin ng dew point, gaya ng atmospheric pressure dew point -70.C.
Kalinisan: ang bilang ng mga contaminant na particle na nasa gas, laki ng particle na µm, kung gaano karaming mga particle/M3 ang ilalabas, para sa compressed air, kadalasang ipinapahayag din sa mga tuntunin ng kung gaano karaming mg/m3 ng hindi maiiwasang solid residues, na sumasaklaw sa nilalaman ng langis .
Pag-uuri ng laki ng pollutant: mga pollutant na particle, higit sa lahat ay tumutukoy sa pipeline scouring, wear, corrosion na nabuo ng metal particle, atmospheric soot particle, pati na rin ang mga microorganism, phages at moisture-containing gas condensation droplets, atbp., ayon sa laki ng laki ng particle nito ay nahahati sa
a) Malaking particle – laki ng butil na higit sa 5μm
b) Particle – diameter ng materyal sa pagitan ng 0.1μm-5μm
c) Mga ultra-micro particle – laki ng butil na mas mababa sa 0.1μm.
Upang mapahusay ang aplikasyon ng teknolohiyang ito, upang magkaroon ng perceptual na pag-unawa sa laki ng butil at mga yunit ng μm, isang set ng partikular na katayuan ng particle ay ibinigay para sa sanggunian
Ang sumusunod ay isang paghahambing ng mga partikular na particle
| Pangalan / Laki ng particle (µm) | Pangalan / Laki ng particle (µm) | Pangalan/ Laki ng particle (µm) |
| Virus 0.003-0.0 | Aerosol 0.03-1 | Aerosolized microdroplet 1-12 |
| Nuclear fuel 0.01-0.1 | Kulayan ang 0.1-6 | Fly ash 1-200 |
| Carbon black 0.01-0.3 | Gatas na pulbos 0.1-10 | Pestisidyo 5-10 |
| Resin 0.01-1 | Bakterya 0.3-30 | Alabok ng semento 5-100 |
| Usok ng sigarilyo 0.01-1 | Alikabok ng buhangin 0.5-5 | Pollen 10-15 |
| Silicone 0.02-0.1 | Pestisidyo 0.5-10 | Buhok ng tao 50-120 |
| Crystallized na asin 0.03-0.5 | Puro sulfur dust 1-11 | Buhangin sa dagat 100-1200 |
Oras ng post: Hun-14-2022