Pag-populasyon ng mga ultra-high kadalisayan gas sa semiconductor manufacturing

Ang mga ultra-high na kadalisayan ng gas ay mahalaga sa buong chain ng supply ng semiconductor. Sa katunayan, para sa isang tipikal na tela, ang mga gas na may mataas na kadalisayan ay ang pinakamalaking gastos sa materyal pagkatapos ng silikon mismo. Sa pagtatapos ng kakulangan sa pandaigdigang chip, ang industriya ay mas mabilis na lumalawak kaysa dati - at ang demand para sa mataas na kadalisayan ng gas ay tumataas.

Ang pinaka -karaniwang ginagamit na mga bulk na gas sa pagmamanupaktura ng semiconductor ay ang nitrogen, helium, hydrogen at argon.

Nitrogen

Ang Nitrogen ay bumubuo ng 78% ng aming kapaligiran at labis na sagana. Nangyayari din ito na maging chemically inert at non-conductive. Bilang isang resulta, natagpuan ng nitrogen ang paraan sa isang bilang ng mga industriya bilang isang gas na mabibigat na gas.

Ang industriya ng semiconductor ay isang pangunahing mamimili ng nitrogen. Ang isang modernong semiconductor manufacturing plant ay inaasahang gumamit ng hanggang sa 50,000 cubic metro ng nitrogen bawat oras. Sa pagmamanupaktura ng semiconductor, ang nitrogen ay kumikilos bilang isang pangkalahatang layunin na inerting at purging gas, na pinoprotektahan ang mga sensitibong wafer ng silikon mula sa reaktibo na oxygen at kahalumigmigan sa hangin.

Helium

Ang Helium ay isang inert gas. Nangangahulugan ito na, tulad ng nitrogen, ang helium ay chemically inert - ngunit mayroon din itong dagdag na bentahe ng mataas na thermal conductivity. Ito ay partikular na kapaki-pakinabang sa pagmamanupaktura ng semiconductor, na pinapayagan itong mahusay na magsagawa ng init na malayo sa mga proseso ng high-energy at makakatulong na maprotektahan ang mga ito mula sa thermal pinsala at hindi ginustong mga reaksyon ng kemikal.

Hydrogen

Ang hydrogen ay ginagamit nang malawak sa buong proseso ng pagmamanupaktura ng electronics, at ang paggawa ng semiconductor ay walang pagbubukod. Sa partikular, ang hydrogen ay ginagamit para sa:

Pagsasama: Ang mga wafer ng silikon ay karaniwang pinainit sa mataas na temperatura at dahan -dahang pinalamig upang ayusin (anneal) ang istruktura ng kristal. Ang hydrogen ay ginagamit upang ilipat ang init nang pantay -pantay sa wafer at tumulong sa muling pagtatayo ng istruktura ng kristal.

Epitaxy: Ang ultra-high kadalisayan hydrogen ay ginagamit bilang isang pagbabawas ng ahente sa epitaxial deposition ng mga semiconductor na materyales tulad ng silikon at germanium.

Pag -aalis: Ang hydrogen ay maaaring doped sa mga pelikulang silikon upang gawing mas disordered ang kanilang istraktura ng atomic, na tumutulong upang madagdagan ang resistivity.

PLASMA CLEANING: Ang hydrogen plasma ay partikular na epektibo sa pag -alis ng kontaminasyon ng lata mula sa mga ilaw na mapagkukunan na ginamit sa lithography ng UV.

Argon

Ang Argon ay isa pang marangal na gas, kaya ipinapakita nito ang parehong mababang reaktibo bilang nitrogen at helium. Gayunpaman, ang mababang enerhiya ng ionization ng Argon ay ginagawang kapaki -pakinabang sa mga aplikasyon ng semiconductor. Dahil sa kamag -anak nitong kadalian ng ionization, ang argon ay karaniwang ginagamit bilang pangunahing plasma gas para sa mga reaksyon ng etch at pag -aalis sa pagmamanupaktura ng semiconductor. Bilang karagdagan sa ito, ang argon ay ginagamit din sa mga excimer laser para sa UV lithography.

Bakit mahalaga ang kadalisayan

Karaniwan, ang mga pagsulong sa teknolohiya ng semiconductor ay nakamit sa pamamagitan ng laki ng scaling, at ang bagong henerasyon ng teknolohiya ng semiconductor ay nailalarawan sa pamamagitan ng mas maliit na laki ng tampok. Nagbibigay ito ng maraming mga benepisyo: mas maraming mga transistor sa isang naibigay na dami, pinabuting alon, mas mababang pagkonsumo ng kuryente at mas mabilis na paglipat.

Gayunpaman, habang bumababa ang kritikal na laki, ang mga aparato ng semiconductor ay nagiging sopistikado. Sa isang mundo kung saan ang posisyon ng mga indibidwal na atom ay mahalaga, ang mga fault tolerance threshold ay napakahigpit. Bilang isang resulta, ang mga modernong proseso ng semiconductor ay nangangailangan ng mga gas gas na may pinakamataas na posibleng kadalisayan.

Ang Wofly ay isang high-tech enterprise na dalubhasa sa gas application system engineering: electronic special gas system, laboratory gas circuit system, industriya sentralisadong sistema ng supply ng gas, bulk gas (likido) system, mataas na kadalisayan gas at espesyal na proseso ng gas pangalawang piping system, sistema ng paghahatid ng kemikal, purong sistema ng tubig upang magbigay ng isang buong hanay ng engineering at teknikal na serbisyo at mga sampung produkto mula sa teknikal na pagkonsulta, pangkalahatang pagpaplano, sistema ng disenyo, pagpili ng mga kagamitan, prefabricated compol, at pagtatayo ng site site, ang pangkalahatang pagsubok sa system, pagpapanatili at iba pang mga sumusuporta sa mga produkto sa isang pinagsamang paraan.