Ang paggamit ng mga gas sa industriya ng semiconductor ay nag -date noong unang bahagi ng 1950 hanggang 1960. Sa panahon ng proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor, ang mga gas ay pangunahing ginagamit upang linisin at protektahan ang mga materyales na semiconductor upang matiyak ang kanilang kadalisayan at kalidad. Kabilang sa mga pinaka -karaniwang ginagamit na gas ay ang nitrogen at hydrogen.
Habang binuo ang teknolohiya ng semiconductor at ang mga proseso ng pagmamanupaktura ay patuloy na umunlad, tumaas ang demand para sa mga gas. Noong 1970, ang karagdagang pag -unlad ng teknolohiyang pagmamanupaktura ng semiconductor, ang aplikasyon ng mga gas sa mga pangunahing proseso tulad ng etching at pag -aalis ng mga manipis na pelikula ay unti -unting nadagdagan, at ang mga gas ng fluoride (EG SF6) at oxygen ay karaniwang ginagamit na mga gas at pag -aalis ng gas. Nakita ng 1980 ang isang karagdagang pagtaas sa demand para sa mga gas na may pagbuo ng mga integrated circuit at ang pagtaas ng demand para sa kanila. Ang hydrogen ay malawakang ginagamit sa proseso ng pagmamanupaktura, kabilang ang hydrogen annealing at pag -aalis ng singaw ng hydrogen. At mula 1990 hanggang sa kasalukuyan, ang demand para sa mga gas na may mataas na kadalisayan at mga tukoy na gas ay nadagdagan habang ang mga sukat ng aparato ng semiconductor ay patuloy na pag-urong at ipinakilala ang mga bagong proseso. Halimbawa, ang aplikasyon ng matinding ultraviolet lithography (EUV) ay nangangailangan ng paggamit ng sobrang mataas na kadalisayan na gas tulad ng nitrogen at hydrogen.
Ang Semiconductor Gas ay patuloy na tumataas sa pag -unlad ng mga kaugnay na produkto na hinihimok ng higit pa at maraming mga produkto ang ipinahayag, habang ang gas ay kabilang din sa mapagkukunan ng panganib, kaya ang mga produktong ginamit para sa mga gas decompression, mga produkto ng pagtuklas ng gas at maiwasan ang mga produkto ng pagtagas ng gas ay lumitaw tulad ng mga regulators ng presyon, mga balbula ng gas, mga gauges ng presyon ng gas, gas na tumagas, atbp, at ang kanilang mga tungkulin ay tulad ng mga sumusunod:
Mga Regulator ng Pressure: Ang mga regulator ng presyon ay mga aparato na ginagamit upang makontrol ang presyon ng gas. Karaniwan silang binubuo ng isang balbula ng regulator at isang sensor ng presyon. Ang mga regulator ng presyon ay kumuha ng isang mataas na presyon ng gas ng presyon at patatagin ang presyon ng output gas sa pamamagitan ng pag -aayos ng balbula upang matugunan ang mga tiyak na kinakailangan sa aplikasyon. Ang mga regulator ng presyon ay malawakang ginagamit sa mga lugar tulad ng industriya, pagmamanupaktura at laboratoryo, pati na rin sa industriya ng semiconductor, bukod sa iba pa, upang matiyak ang katatagan at kaligtasan ng suplay ng gas.
Mga balbula ng gas: Ang mga balbula ng gas ay ginagamit upang makontrol ang daloy ng mga gas at upang isara ang mga daanan ng gas. Karaniwan silang may on/off function na magbubukas o nagsasara ng daloy ng gas. Mayroong iba't ibang mga uri ng mga balbula ng gas, kabilang ang mga manu -manong balbula, mga electric valves at pneumatic valves. Malawakang ginagamit ang mga ito sa mga sistema ng gas upang makontrol ang daloy, presyon at rate ng daloy ng mga gas.
Mga gauge ng presyon ng gas: Ang mga gauge ng presyon ng gas ay ginagamit upang masukat ang antas ng presyon ng isang gas. Karaniwan silang naka -install sa mga kritikal na lokasyon sa mga sistema ng gas upang masubaybayan ang mga pagbabago sa presyon at matiyak na nasa loob sila ng ligtas na mga limitasyon. Ang mga gauge ng presyon ng gas ay malawakang ginagamit sa industriya, pagmamanupaktura at mga laboratoryo, at ang industriya ng semiconductor ay kasangkot din.
Mga detektor ng pagtagas ng gas: Ang mga detektor ng pagtagas ng gas ay ginagamit upang makita ang mga pagtagas sa mga sistema ng gas. Nakita nilaAng pagkakaroon ng mga pagtagas ng gas at tunog ng isang alarma upang ang napapanahong pagkilos ay maaaring gawin upang maiwasan ang mga aksidente sa pagtagas. Ang mga detektor ng pagtagas ng gas ay malawakang ginagamit sa mga aplikasyon ng pang -industriya, kemikal, langis at gas, at ang industriya ng semiconductor ay kasangkot din.
Oras ng Mag-post: Pebrero-20-2024