Ang kagamitan sa paggamot ng gas ng buntot ay maaaring hawakan ang mga gas na ginagamit sa mga proseso ng etching at mga proseso ng pag -aalis ng singaw ng kemikal sa semiconductor, likidong kristal, at industriya ng enerhiya ng solar, kabilang ang SIH4, SIH2CL2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2O, at iba pa.
Paraan ng Paggamot ng Gas ng Exhaust
Ayon sa mga katangian ng paggamot sa maubos na gas, ang paggamot ay maaaring nahahati sa apat na uri ng paggamot:
1. Uri ng Paghuhugas ng Tubig (Paggamot ng Mga Maglalang Gas)
2. Uri ng Oxidizing (pagharap sa sunugin at nakakalason na gas)
3. Adsorption (ayon sa uri ng materyal na adsorption upang harapin ang kaukulang gasolina).
4.Plasma uri ng pagkasunog (lahat ng mga uri ng mga gas na maubos ay maaaring gamutin).
Ang bawat uri ng paggamot ay may sariling mga pakinabang at kawalan pati na rin ang saklaw ng aplikasyon nito. Kapag ang paraan ng paggamot ay paghuhugas ng tubig, ang kagamitan ay mura at simple, at maaari lamang hawakan ang mga gas na natutunaw sa tubig; Ang saklaw ng application ng uri ng paghuhugas ng tubig sa kuryente ay mas mataas kaysa sa uri ng paghuhugas ng tubig, ngunit mataas ang gastos sa operasyon; Ang tuyong uri ay may mahusay na kahusayan sa paggamot, at hindi naaangkop sa daloy ng gas na madaling mai -clog o dumaloy.
Ang mga kemikal at ang kanilang mga by-product na karaniwang ginagamit sa industriya ng semiconductor ay maaaring ikinategorya ayon sa kanilang mga katangian ng kemikal at ang kanilang iba't ibang mga saklaw:
1. Ang mga nasusunog na gas tulad ng SIH4H2, atbp.
2. Mga nakakalason na gas tulad ng ASH3, PH3, atbp.
3. Ang mga kinakailangang gas tulad ng HF, HCl, atbp.
4. Mga gas ng greenhouse tulad ng CF4, NF3, atbp.
Dahil ang nasa itaas na apat na gas ay nakakapinsala sa kapaligiran o katawan ng tao, dapat maiwasan ang direktang paglabas nito sa kapaligiran, kaya ang pangkalahatang halaman ng semiconductor ay naka-install na may isang malaking sentralisadong sistema ng paggamot ng gasolina, ngunit ang sistemang ito ay lamang ang pag-scrub ng tubig, kaya ang application nito ay limitado sa matagal na distansya ng tubig na natutunaw na gas, at hindi maaaring makitungo sa patuloy na pagbabago at banayad na dibisyon ng semiconductor na proseso ng gas. Samakatuwid, kinakailangan upang piliin at tumugma sa kaukulang kagamitan sa paggamot ng gasolina ayon sa mga katangian ng gas na nagmula sa bawat proseso upang malutas ang problema sa maubos na gas sa isang maliit na paraan. Dahil ang nagtatrabaho na lugar ay halos malayo sa gitnang sistema ng paggamot ng gasolina, madalas dahil sa mga katangian ng gas ay humantong sa pagkikristal o pag -iipon ng alikabok sa pipeline, na nagreresulta sa pag -clog ng pipeline na humahantong sa pagtagas ng gas, at sa mga malubhang kaso, kahit na maging sanhi ng pagsabog, hindi masiguro na ang kaligtasan ng kawani ng site. Samakatuwid, sa lugar ng trabaho ay kailangang i -configure ang isang maliit na kagamitan sa paggamot ng gas na angkop na angkop para sa mga katangian ng proseso ng gas, upang mabawasan ang hindi gumagalaw na tambutso na gas sa lugar ng trabaho, upang matiyak ang kaligtasan ng mga tauhan.
Oras ng Mag-post: Aug-10-2023